技術參數
1.空間分辨率:小于100μm
2.設備物理參數:尺寸:1800mm(長)×1200mm(寬)×1800mm(高);
3.重量:約500kg;
4.管電壓:10-90kV
5.管電流:30-200μA
6.最大成像面積:250 mm×300 mm
7.探元尺寸:100μm2
8.像素矩陣:2508×3004
9.動態位數:16 位
10.旋轉臺:360°,最大負載 10kg
11.測量效率:5-10分鐘/樣本
12.樣本尺寸大小:1.5cm(直徑)*15cm(高)(可根據用戶需求設計)
13.樣本通量:50-100樣本(可根據用戶需求設計)